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DID氦離子氣相色譜儀憑借對氣體(H2、O2、N2、CH2、CO、CO2等)的超高靈敏度與寬線性范圍,廣泛應用于半導體、空分、石化、環保等行業。其核心DID檢測器利用脈沖直流放電電離氦載氣,再通過碰撞反應電離目標組分,實現ppb級痕量雜質檢測。然而,DID氦離子氣相色譜儀在精密的...
AGC氣相色譜儀憑借其核心技術優勢,在精準檢測與操作便捷性領域樹立。其核心優勢體現在檢測靈敏度、溫控精度、系統集成及智能化操作四大維度,為環境監測、工業分析、特種氣體檢測等領域提供了高效解決方案。1.超高靈敏度檢測技術AGC氣相色譜儀搭載氦放電離子化檢測器(DID),通過氦氣放電產生的電離效應,實現ppb級(十億分之一)痕量氣體檢測。例如,在監測大氣臭氧濃度時,DID檢測器可精準捕捉100ppb的峰值,遠超傳統熱導檢測器(TCD)的靈敏度。其線性范圍達10??,比FID檢測器...
化學發光法(CLD)是測量氮氧化物(NO?)的國際標準方法,以其高靈敏度、高選擇性和快速響應著稱。其核心原理基于一氧化氮(NO)與臭氧(O?)的氣相化學反應。一、從NO到NO?的檢測邏輯該儀器的檢測邏輯遵循一個精妙的“分步測量”設計,核心部件是兩個反應室和一套切換閥路。NO的直接測量:待測氣體首先直接進入第一反應室,與儀器內部臭氧發生器產生的過量O?混合。發生關鍵反應:NO+O?→NO?*+O?。其中約10%的二氧化氮分子處于激發態(NO?*)。當NO?*從激發態躍遷回基態時...
在晶圓制造的刻蝕、離子注入和沉積等核心工藝中,高純氬氣作為關鍵工藝氣體,其純度直接決定集成電路的良品率。任何微量的雜質,如氧氣、氮氣、水分或碳氫化合物,都可能導致晶圓缺陷、薄膜污染或電路短路,造成巨額損失。因此,對其質量的嚴格控制至關重要,而高純氬氣相色譜儀(GC)正是執行這一關鍵任務的核心分析工具。高純氬色譜儀的關鍵作用主要體現在其的痕量分析能力上。它能夠精準、快速地檢測出氬氣中低至ppb(十億分之一)甚至ppt(萬億分之一)級別的雜質含量。其工作原理是利用色譜柱對氣體混合...
工作原理高純氬分析色譜儀基于氣相色譜分離技術,通過檢測高純氬氣中微量雜質的物理化學性質差異實現定量分析。其核心流程為:樣品引入:高純氬氣樣品經進樣系統(如六通閥)定量注入色譜儀,進入色譜柱。組分分離:色譜柱填充特定固定相(如分子篩、氧化鋁復合材料),利用雜質組分(如H?、O?、N?、CH?、CO、CO?)的沸點、極性或吸附性差異,在載氣(超高純氬氣)推動下實現分離。檢測與定量:分離后的組分依次進入檢測器,轉化為電信號。例如,氬離子化檢測器(AID)通過離子化電流變化檢測雜質濃...
一、常見故障診斷不出峰或信號異常檢查順序:從進樣針、進樣口到檢測器逐一排查。關鍵點:確認注射器是否堵塞;檢查進樣口和檢測器的石墨墊圈是否緊固;觀察檢測器出口是否暢通(如ECD檢測器排放口堵塞會導致氣體無法流動)。案例:某儀器因ECD排放口結冰堵塞,導致柱頭壓異常,更換載氣后恢復正常。基線波動或漂移原因分析:載氣純度不足、進樣墊老化、襯管污染或溫度控制不穩定。排查步驟:檢查氣源純度;更換進樣墊;清洗襯管;校準溫度傳感器。案例:新換載氣純度不夠導致基線劇烈抖動,更換合格載氣后問題...